首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

静电键合工艺仿真

2005年 应用技术
  • 成果简介
建立了静电键合工艺过程的物理与数学模型，编写了可在Windows操作系统上独立运行的工艺仿真软件。可对点电极、平板电极、多点电极等多种电极结构及键合电压、键合温度等工艺参数下的键合扩散过程、键合电流、键合时间等静电键合行为特性及参数进行可视化仿真，该仿真软件与国内外商业通用静电键合设备及工艺结合紧密，实用性强。经试验验证，对硅/玻璃静电键合工艺过程的仿真结果与在实际键合工艺过程相吻合，对静...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统