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金刚石膜高频声表面波（SAW）器件

2004年

应用技术

成果简介

金刚石薄膜声表面波（SAW）器件可在很高频率、很高功率范围工作。在高频、高比特率的通信系统即将到来之时，金刚石薄膜SAW器件将成为通信应用方面最优越的SAW器件。我们利用克利斯托夫（Christoffel）弹性模量和细观力学理论计算金刚石多层薄膜体系，探索了金刚石晶粒粒度大小对SAW器件中心频率的影响，研究了准分子激光脉宽对形成金刚石晶粒粒度大小的作用，并用准分子激光脉宽控制金刚石膜晶粒粒...

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