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定齿偏置的梳齿式体硅加工微机械结构

2004年 应用技术
  • 成果简介
本发明属于体硅加工微机械结构设计领域，包括一个由齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件，固定齿和基片，敏感质量元件的每个梳齿和其相邻的两定齿距离不等，两侧距离比值为1:(8～12)，本发明结构最重要的优点就是键合块少、面积大，大大降低了键合难度，且键合接触电阻小、均匀，显著提高了加工成品率，使微机械加速度从面加工到体加工成为可能，从而使分辨率和精度大大提高。此外明显减少了玻璃极板上均置...
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