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大面积高质量金刚石自支撑膜的制备技术

2004年

应用技术

成果简介

●项目简介
本项目是国家863计划“85”和“95”重大项目的阶段性研究成果（合作单位：河北省科学院）。包括“大面积高功率DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜高速沉积设备”和“大面积高质量金刚石自支撑膜制备工艺”两部分。其目标是向国内外市场提供大面积高质量廉价金刚石自支撑膜。技术基本成熟，设备和工艺已在广东、北京和天津的一些工厂和研究院所应用。目前已开发两...

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