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Mevva离子源及其应用

2004年 应用技术
  • 成果简介
金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)是一种新型强流金属离子源。该源利用阴极和阳极间的真空弧放电,由阴极材料表面直接产生高密度金属等离子体,经三电极系统引出而形成强流金属离子束。
MEVVA源具有许多突出优点:
1、可产生元素周期表中从锂到铀的所有金属离子;
2、金属离子束流强;
3、离子电荷态高;
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