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MEMS系统级设计方法

2005年

应用技术

成果简介

MEMS系统级设计方法是针对微机械系统在电系统中的行为及其设计问题研究而得到的成果，主要用于对MEMS器件进行系统级的模拟。其特点在于可以与电路或其他信息系统在同一设计环境下进行设计与模拟。
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