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ICP加工模拟工具软件DROPIE

2005年

应用技术

成果简介

本课题初步建立了ICP工艺中刻蚀和淀积过程的基本物理模型，设计了具有针对性的实验来提取物理模型所需要的参数；对以上独立的物理模型进行组合，建立了ICP工艺中刻蚀和钝化交替过程的基本物理模型，实现了对ICP过程的物理解释和数学描述。在物理模型向计算机数据模型转换的过程中，针对ICP工艺模拟过程的独特性，结合传统的线模型和单元模型，开发了二维的线单元混合图形表示方法，并对三维模拟的算法进行了初...

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