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1×2、2×2、4×4、1×8、8×8系列MEMS光开关及制造方法

2005年

应用技术

成果简介

本研究属于一个新技术在产品中的应用开发，这项新技术是MEMS技术，硅MEMS加工技术具有与微电子技术的兼容性，利用硅MEMS技术开发的产品具有批量、成本低、集成度高等共同的特点，另外MEMS光开关是一种全光开关(O-O-O)，不需要复杂的光电转换，即它在路由和复原光传输信号时会始终保持信号的光形式，其性能也不依赖于传播光的波长和信号传输速率，研制的8×8微机械光开关与传统的机械式光开关相比...

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