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MOS电路用悬臂式石英桨

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本产品是湖州东科电子石英有限公司根据超大规模集成电路芯片扩散、氧化需要，自行研制的高纯度、高精度、耐高温、外观好、超长悬臂式石英桨。从硅片到芯片的加工过程中，片子进出炉管的传统方式是推拉式，但随着芯片直径加大，自重增加，推拉式已不能满足，现一般采用悬臂式硅桨进出炉管。
1、桨的悬臂部分的厚度达10mm左右的石英管，要求高纯度、高精度、低羟基和高强度（符合美国GE标准）；...
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