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IPA大型石英循环槽

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　芯片在加工过程中需要清洗表面附着的杂质，这就必须有承载各种清洗液的槽（纯水、酸、双氧水、氢氟酸等清洗液）。IPA大型石英循环槽就起到这个清洗装置的作用，根据客户要求设计的不同形状的循环槽放置在相应的清洗机内，通过清洗液（有的利用超声波清洗）去除硅片表面上的杂质。因为石英循环槽具有高纯度、耐高温的特性，因此比其他材质的清洗槽更有优势，能很好地保证硅片的质量。应用自主创新的双排灯对接工艺，开发出应...
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