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纳米级多作动器微进给平台研究与设计

2004年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　随着科技发展，在社会需求拉动和技术进步推动的双重作用下，超精密加工和微细加工越来越受到重视，人类在制造领域中采用的尺度将由微米迈向纳米。在这个进程中，高精度的微进给平台是实现纳米级定位和加工的关键技术。
当前，在微电子器件、光学器件、微机械的制造及特种材料加工等工程领域，已经对纳米级微进给平台提出了要求。微位移的产生是微进给平台的基础。在现有的方法中，利用电介质的机电耦合效...
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