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新型集成窄带滤光片技术研究

2006年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　根据传感器所需的光谱波段，研究单片集成32个通道的集成窄带滤光片，从而形成在该波段具有优异光谱分辨率的小型光谱仪的核心分光技术。
　　本课题的创新点在于结合新型的组合刻蚀芯片技术与滤光片的制备技术来获得集成窄带通滤光片，以及通过二、三维光子晶体缺陷态技术的应用，以求将分光技术拓展到二维甚至三维结构中，实现二、三维分光的技术制备。为了实现这些核心技术的突破，需要分别研究窄带通滤光片的...
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