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电子陶瓷磁控溅射金属化技术及其自动化生产线研究

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
金属化是电子陶瓷器件制造中的关键技术，国内电陶企业过去一直沿用烧结－电镀或真空蒸发等落后工艺，金属化膜层的质量不良、生产效率低、产品一致性差，严重削弱了我国电陶器件在国际市场中的竞争力。本项目研究成功多层膜金属化膜系结构及其相应的溅射工艺，并开发出国内第一条具有自主知识产权的大吞吐量的陶瓷磁控溅射金属化自动生产线，实现了产业化，攻克了陶瓷金属化技术的一个瓶颈技术，填补了国内空白。其金属化膜...
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