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硅基异质材料生长、物性研究及光电器件制备

2006年 基础理论
  • 成果简介
硅基光电薄膜的制备、特性及其器件的基础性研究是当前半导体物理与器件、材料科学和光电信息技术领域十分重要的前沿课题。本项目主要围绕几种具有代表性的硅基光电薄膜及相关器件一些共性基础科学问题，在国家自然科学基金重大、重点项目及国家“973”项目等支持下开展较为系统研究，取得以下主要创新成果：
1.首次提出非平衡低温生长与氧离子补偿相结合的方法，生长出高度C轴取向的ZnO晶...
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