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硅片缺陷自动检测仪研制

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
“硅片缺陷自动检测仪”包括激光光源系统、散射光收集系统、硅片螺旋扫描系统、光电检测和电子学处理系统以及计算机控制系统等几部分。在倾斜入射激光扫描散射检测技术，高效率大数值孔径散射光收集和光电检测技术，提高探测灵敏度和获得高的信噪比关键技术等方面取得突破。“硅片缺陷自动检测仪”原理样机研制成功，对于改变我国大规模集成电路专用检测设备长期依赖进口局面、研制和开发具有自主知识产权的国产化设备取得...
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