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新型功能薄膜材料的离子束制备

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
栅控脉冲行波管在精密制导、卫星通讯、雷达侦察、遥感遥测、电子对抗、飞船定位和对接方面有重要用途。但栅控脉冲行波管工作时，由于阴极发射物质在栅网上的沉积造成栅电子发射，将破坏行波管的正常工作状态，严重时使整个系统失效。因此解决栅控脉冲行波管栅电子发射问题是军工、航天领域的一项重要任务。我们采用离子束増强沉积技术在栅网表面形成的类石墨碳膜和铪膜，抑制栅电子发射获得成功，首创了一种新的真空管栅的...
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