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微型溅射离子泵

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
微型溅射离子泵是小体积、高真空密封器件中保障长寿命的关键部件。它是根据低压强下磁约束气体放电的清除作用设计制成。气体进入阳极筒内被电离生成电子离子对，电子加入旋转电子云，离子受径向和轴向场的作用，绕轴振荡并移向阴极钛板。钛阴极被离子溅射，钛原子沉积在阳极筒内表面，气体分子被钛薄膜吸附，从而获得和维持高真空。
本项目在方案调研时总结了国内外对微型溅射离子泵设计提出的共同要...
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