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重掺杂硅单晶中氧的结合机制研究

2005年 基础理论
  • 成果简介
该项目测定了重掺杂硅单晶中氧的含量，找到了间隙氧含量与总氧含量的对应关系；对重掺砷硅单晶中氧沉淀的退火行为进行了较为系统的研究；对氧沉淀形态及诱发缺陷进行了TEM测试分析，结果表明，中温退火时，氧沉淀生层错和位错环，在高温退火后形成了多面体形状的氧沉淀。同时项目分析认为砷是增强硅片近表面区氧的外扩散，且掺杂剂对硅单晶中氧的结合机制产生影响。...
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