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用电子束诱导沉积纳米碳研制光子晶体

2006年

应用技术

成果简介

光子晶体(PC)已成为新型光子器件和未来全光集成回路的物理基础。提出了一种独具特色的技术来克服深亚微米加工的难点，从而发展了一种制备光子晶体的新技术。
在无需光刻胶和外加掩膜的条件下，通过、直写、和直接刻蚀，形成一维和二维亚微米周期性光子晶体结构，典型的大小约100～150纳米、周期约300～350纳米。利用这一技术，在可见光波段的半导体InGaAlPMQW上成功地研制...

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