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等离子薄膜技术在工模具中的应用

2006年 应用技术
  • 成果简介
用直流磁控/射频溅射镀、多弧离子镀、离子束辅助增强沉积、高能离子注入等方法设计并合成具有特殊界面微结构的人工超晶格纳米多层超硬薄膜和纳米颗粒超硬薄膜。目前利用0.11nm/sec.的薄膜沉积速率，镀制出单层厚度为2、20nm总层数为140层的纳米多层膜和晶粒尺寸为5、30nm的颗粒膜，还制备出总厚度为5um、刻划力大于60N、硬度大于60GPa、耐高温700～C的多种硬质薄膜涂层，广泛用于...
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