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微器件的微细加工工艺及设备

2006年 应用技术
  • 成果简介
由于微机电系统和微机械应用的不断增加，微器件的形状结构越来越复杂，制作微器件的材料开始采用工程陶瓷光学玻璃等非金属硬脆材料，迫切需要研究对微型零件三维微细结构进行精细加工的技术。对于工程陶瓷等硬脆材料精密加工的有效方法仍然以金刚石磨料构成工具的磨削和研磨为主，随着工件加工尺寸的减小，需要相应减小加工工具的尺寸，随着金刚石砂轮尺寸的减小，为了使砂轮磨削点线速度达到磨削要求必须使用超高速的砂轮...
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