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超微质量及超微载荷变化量检测装置及其检测方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及一种检测装置，具体说涉及一种超微质量及超微载荷变化量检测装置及其检测方法。包括有机体，原子力显微镜检测装置，弹性测微装置，所述弹性测微装置通过螺杆与机体连接，弹性测微装置与机体之间装有压缩弹簧。
本发明设计一种方法和装置，该装置一方面能够以扫描探针显微镜超微分辨能力进行微观量的探测，另一方面又适应于通常工程技术领域中微观量的精密检测。检测的物理量经过处理容易适...
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