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高分子模板的制作及其在热模塑图案化技术中的应用

2006年 应用技术
  • 成果简介
本方法以高分子模板替代Si，SiO_2等模板进行高分子薄膜的热模塑微图案化。高分子模板由转移微模塑方法制作。高分子模板与Si，SiO_2等模板相比，具有加工方法简单，加工迅速，成本低廉等优点，热模塑微图案化技术能更好的在实际中得到应用。...
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