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r-Fe_2O_3基苯类气体敏感器件及其制造方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
苯、甲苯、二甲苯(简称苯类)是化工业、橡胶制造业、建筑装饰业、药业、半导体器件制造业用来作溶剂、稀释刑、清洗剂的有机溶剂。苯类气体具有较强的毒性，长期或短期超量吸入对人体造成很大损害。本发明针对苯类毒性气体现有技术的不足，提供一种r-Fe_2O_3基苯类气体敏感器件及其制造方法。
R-Fe_2O_3基苯类气敏器件，采用旁热式结构和旁热式工艺制成，管蕊表面涂敷的敏感材料，...
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