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等离子体化学相沉积硬膜技术工业化研究

1998年

应用技术

成果简介

　　该成果利用低压等离子体的活化作用来降低反应温度，使传统的化学气相沉积（CVD）温度降低，适于在高速钢类材料表面涂镀硬质膜，用于提高机械行业要求耐磨耐蚀零部件的寿命，特别是提高刀具、模具的寿命。采用该技术研制的NC－TiN/a－Si_3N_4新型超硬膜，硬度高于4000kg/mm^2，抗氧化能力强，镀膜成本远低于引进PVD成本的1/2~1/3，是具有广阔应用前景的新膜。该成果在超强材料的理论研究...

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