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微小尺寸测量理论与技术的研究

1998年

应用技术

成果简介

微小尺寸测量技术属于测试计量仪器学科，它是新兴的发展迅速的重要的学术领域，它的理论与技术涉及面广、难度大，是多学科交叉的前沿，形成测量学科的重要分支，是微米/纳米技术的发展支柱和重要组成部分。适用于微电子、微型机械、精密机械、生物工程等。
本项目对微小尺寸测量理论和技术进行了长期、系统和深入地研究。
主要研究内容：
1.系统地总结...

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