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离子镀金靶材的研制与开发

1998年 应用技术
  • 成果简介
　　本课题研究对真空离子镀金靶材的理化性能和靶材制做工艺进行了深入的理论研究和开发。通过在纯金中加入多种合金元素获得了具有多种色度值的靶材，并提高了靶材镀金件的耐磨性和耐蚀性。所研制开发的复合制靶新工艺大大地降低了靶材的黄金占用量，提高了靶材的黄金溅射利用率。靶材的制做方法和合金成分的选择为国内首创，其使用性能已达到了国内领先水平。课题研究成果累计创产值5000余万元，创利税3500万元。推动了我...
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