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离轴抛物面镜表面光学波象差计量标准装置

1997年

应用技术

成果简介

　　该成果主要研制成功测量抛物面和离轴抛物面统表面波象差的一种新方法，可测口径范围可到Φ300mm，其测量不确定度当口径Φ100mm，时为±r20(16)，当口径为300时为±r/8。该测量方法是以ZYGO干涉仪为主机，配以标准测量器具。调整方便，功能齐全，实时快速，量值准确。浓长范围：λ=0.6328mm，测量不确定度：当Ф=100mm，U=±λ[6031]20，当Ф=300mm，U=±λ/10...

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