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无功能半导体汞探针测量装置

1997年

应用技术

成果简介

　　该成果主要用于半导体材料掺杂浓度分布和其它有关物性测试，半导体生产工艺线上在线检测，质量控制，也可用于半导体材料的表面界面各种电荷密度的检测。该测量装置与目前已有探针相比，其准确性、稳定性、可靠性以及测量精度方面有很大提高，设计独特、操作简单、功能多、功效高、系无损检测，测量周期短，尤适于生产线快速检测。
　　汞探针结合IV、CV测量系统可以用于下列测试：
　　（1）半...

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