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多头小离子源和离子束辅助蒸发新工艺

1997年 应用技术
  • 成果简介
多头小离子源是由多个宽束冷阴极离子源组合而成，可满足不同规格镀膜机的需要。单个宽束冷阴极离子源指标：引出束口径Ф30mm，离子束能量400-2000eV，束流密度2-120μA/cm^2，双头离子源最大束班直径不小于300mm，利用多头离子源进行离子束辅助蒸发新工艺，可显著提高膜层的机械强度，如铝、银高反膜耐磨性提高二倍以上，氟化镁、硫化锌膜耐磨性提高三倍以上；缩短了镀膜时间，工效提高一倍...
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