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1微米级VLSI专用电路工艺技术研究

1997年

应用技术

成果简介

该成果主要内容包括：
1、完成了1.5μm成套工艺开发及1Mb汉字ROM研制，并实现了向工业化转移；
2、完成了工艺线以3英寸到4英寸的升级改造，达到了攻关合同规定的量产能力并形成了多品种加工能力；
3、开发了9种工艺模块技术，其中E2 PROM工艺和低漏电器件工艺属国内领先；
4、开发了9种工艺监测与诊断用的...

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