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TDL-FZ35型区熔单晶炉

1997年

应用技术

成果简介

　　TDL-FZ35型区熔单晶炉，是在高纯氮气环境中，用单匝高频感圈加热，对多晶体棒进行区域熔炼，达到提纯并用FZ法拉制高纯无位错大直径（3"～4"）单晶硅的设备。
　　该设备的主要性能指标如下：
　　晶体直径：3"～4"；
　　晶体长度：1000mm；
　　高频发生器功率：60KW；
　　晶轴拉速范围：0.5～20mm/min。...

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