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纳米驱动、定位及控制集成器件研制

2005年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
纳米驱动、定位及控制集成技术和系统是未来纳米加工设备和纳米操纵机器人的关键技术。纳米精度位移定位控制集成系统在精密加工、数据存储、信息光学、微电子技术、航海航空等等领域有着广泛的应用前景，能够应用于afm和 stm、磁盘读头定位、硅片对准、高精度精密加工、光纤耦合设备、微米细流驱动器、纳米精度操纵器、三维位置系统和操纵微米级零件装配等。
本项目在2003年度上海市纳米科...
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