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微直线致动器的纳米级驱动与传动机理及相关控制策略

2005年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
对两种表面硅微工艺的微直线驱动器和电热微致动器的纳米级驱动与传动机理及相关控制策略进行了研究。建立了不同支承悬臂梁的谐振器和曲臂梁形电热微致动器的力学性能分析方法；并用摩擦学的观点和方法，对组成微驱动器机械系统中的各运动构件之间形成的微—微接触副，分析了在力与运动的传递过程中，尺度效应、表面接触阻力等摩擦学行为的影响。研究成果可用于需要在微尺度上实现纳米级运动与控制的问题中。
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