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电视机用重掺硅外延片内吸除技术研究

1996年 应用技术
  • 成果简介
采用符合法弹性前冲技术，27MevIZC人为入射粒子，在计算出实验条件下卢瑟福散射截面和有效电荷后，从散射粒子的能谱得到重掺锑硅中氧含量，找到一种无本底影响测量重掺锑硅中氧含量的方法。国际先进。...
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