首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

超高真空CVD系统

1996年 应用技术
  • 成果简介
该成果为新型薄膜材料的制备设备，适于超高真空下制备或研究硅、锗等薄膜材料和器件。它由高能电子衍射仪及强度振荡检测仪实现制备过程的原位观测及控制。原材料为气态，由配气柜经管路、阀门，源源不断地输入反应沉积室。
该设备具有较宽的生长温度和真空范围，配置反射式高能电子衍射仪和强度振荡电源，可直接在外延生长过程中实施原位监测。广泛应用于电子工业、半导体工业、真空技术和表面物理研...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统