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精密光栅回转台、精密光栅直线台复合应用体系

1996年 应用技术
  • 成果简介
该复合应用体系是一种二维的光栅计量仪器。它以角位移、直线位移的复合运动，实现非球面型面检测的运动、计量基准。测角范围：360°。测角分辨率：0.5″。精度：1.3″，2.2″。直线行程：300mm，分辨率0.2μm。直线运动精度1.2″，1.5″。位置测量精度：1.9μm。数显仪表具有二维位置显示及二进制码实时输出，可实现动、静态测量及自动控制。并具有自检功能。该仪器具有光机电一体化、高精...
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