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用VHF-PECVD技术研制大面积硅基薄膜

2005年

应用技术

中期阶段

成果简介

一、任务来源
用VHF-PECVD技术研制大面积硅基薄膜，来源于国家重点基础研究发展规划（973）项目《低价、长寿命新型光伏电池的基础研究》02课题《稳定获得大面积高稳定非晶硅电池及其实用化技术基础研究》(G2000028202)、03课题《器件质量级低温晶化硅薄膜材料及稳定非晶硅/低温晶化硅叠层电池的研究》(G2000028203)中的研究内容，是由南开大学承担的。 ...

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