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原位磁控溅射薄膜初生过程研究

1996年

应用技术

成果简介

　　薄膜生长初期的形膜过程对膜的结构及性能极为重要。该成果在LAS－600表面分析联合谱仪内安装成膜装置，用俄歇和LEED原位研究了不同取向的多种金属基片表面在荷能粒子作用下成膜的初生过程及界面的形成；用TEM观察分析了膜的形貌及结构，为薄膜制备技术提供了有用的参数；观察分析了蒸镀过程中钛膜由初期的FCC向HCP的转变；用蒙特卡罗模拟计算了成膜前的分形结构，与实验观察基本符合；对磁控溅射钇系超导薄...

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