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高铝组分GaAlAs欧姆接触技术

1996年 应用技术
  • 成果简介
  该成果采用特殊工艺技术解决了高铝组分GAALAs的欧姆接触、其平均正向压降为1.73伏(20mA),达到了日本九十年代初同类产品水平。并通过改变液相外延工艺条件,使单异质结GAALAs红色LED管芯亮度平均值达到3mcD/20mA,达到日本八十年代后期同类管芯产品水平。外延片的打孔亮度最高达到6.5~6.9mcD/20mA,相当于日本九十年代初同类产品水平。可推广应用于GAALAs红色发光二极...
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