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氮化镓激光器的关键技术研究

2004年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
技术说明：
1、材料生长室设计的关键技术
2、可调节的柔性三通道的气体输运装置技术
3、同时公转和自转的生长室机座
4、低成本的新型的原料配送结构
5、自行设计的自动控制系统，提高了材料生长的效率、控制精度和控制重复性
6、廉价的尾气处理装...
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