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CVD金刚石声表面波器件研究

2005年

应用技术

初期阶段

成果简介

ZnO/IDT/金刚石的多层膜结构声表面波滤波器中心频率相对传统的SAW材料的表面波滤波器中心频率大大提高。因此，利用金刚石膜独特的优异性能，采用目前半导体工业技术水平，制备叉指换能器（IDTs）线空宽0.9μm，研制出可在2.5GHz频率以上工作的金刚石SAW器件。
可以对电极制备的技术要求大大降低，从而解决高频器件的技术难度。...

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