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硅掺镓红外探测器

1995年 应用技术
  • 成果简介
该成果利用杂质光电导效应的硅掺镓红外探测器，是工作在4～17.5μ波段性能最好的探测器。在理论分析的基础上合理地设计了材料参数和器件的结构，解决了硅掺镓的单晶制备、器件的光敏元的制作工艺、器件电极工艺等关键技术，研制成功硅掺镓红外探测器。该器件性能指标，平均黑体探测率达到4.1×10^10，峰值探测率已接近背景限的理论值。其性能指标已达到目前国际先进产品水平。该器件广泛应用于天文、军事制导...
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