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超净高纯试剂（BV-Ⅱ）

1995年 应用技术
  • 成果简介
近几年来我国集成电路飞速发展，其主要标志为集成度越来越高，因而对生产集成电路所需的化学试剂的要求也相应提高了。为满足大规模集成电路及半导体器件等生产加工的需要，北京化学试剂研究所研制成功了BV-Ⅱ级超净高纯试剂。该产品是采用化学、物理方法处理，并选择最佳提纯方法进行提纯，在超净环境下经过滤获得的。其主要特性是金属杂质和非金属杂质含量受到严格控制，均在ppb级，大于2μm的颗粒≤100个/1...
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