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高纯氢化终端纯化器研制

1995年 应用技术
  • 成果简介
高纯气体是宇航、电子、激光、通讯技术必不可少的特殊材料，尤其是超大规模集成电路的发展，对气体质量要求越来越高。电子工业用量最大的氦、氢、氩、氮等气体，往往在压缩、充装、转运、管道输送等过程中受到污染，使气体纯度大大降低。配备终端纯化装置是高纯化气体从生产到使用形成一整套的质量保证体系。高纯氢气终端纯化器的研制是“七五”国家重点攻关项目。
其纯化工艺过程为99.99%的原...
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