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集成化力学量传感器

1994年 应用技术
  • 成果简介
　　该传感器测压量程0-0.6MPA，适用温度为-10~55度，以<100>硅片为基础材料背面，经各向异性腐蚀后产生方形杯杯底构成弹性膜，采用方型膜及有限元力学优化设计，采用桥外温度及压力补偿电路。国内先进。...
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