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SOI硅微固态传感器关键技术研究及系列产品开发

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本产品主要用于石油化工、航空航天、军事领域、能源电力等对压力测试具有特殊要求的行业,因而本品区别于传统的传感器,具有以下特点:耐高温、耐高湿、高频响、微型化、抗腐蚀等等。
在国家863项目组及省、市科技部门的支持下,我校针对特种领域对高温压力测试的迫切需求,采用基于SOI(硅隔离)技术的固态浮雕式压阻力敏芯片和新型的硅杯、梁膜结构,使SOI耐高温压力传感器可用于高温及高...
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