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多元氧化物电子薄膜的倒筒式溅射沉积技术研究

2005年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目是在教育部跨世纪人才计划和高校骨干教师计划先期资助下完成的，起止时间：1997年1月1日～2004年12月30日。主要任务：系统研究大尺寸多元介电氧化物薄膜的倒筒式溅射沉积的成分化学计量比、厚度均匀性、沉积速率和取向控制等共性关键技术，以支撑铁电、压电、热释电和超导氧化物薄膜在新型电子元器件中的应用。
多元氧化物薄膜是现代电子器件和功能组件研制的重要物质基础，溅射...
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