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SG--75型扩散硅压力传感器

1994年

应用技术

成果简介

　　扩散硅压力变送器是目前国际工业自动控制中最先进的产品之一。由于它体积小重量轻精度灵敏度高及可靠性好，因此越来越受到人们的重视。为了缩短与国外的差距大连仪表厂引进了日本日立公司的EDR/EPR－75型扩散硅压力变送器。但其核心件（传感器）同其它引进项目一样，不予引进仍靠进口。该传感器是一高科技技术集密型产品有67道主要工序工艺技术难度较大，要求极严。因此国内从70年代开始研究，但一直未形成批量生...

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