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超微针加工技术及系统

1994年 应用技术
  • 成果简介
该成果主要是具有独创性的加工过程反馈控制技术和级向动态进给技术，可有效地控制加工过程中影响超微针性能的主要因素。利用该技术及系统可控制加工不同针尖曲率半径（最小12nm）、不同纵横比（最小1.06）且表面平滑的超微针，该超微针作为各种扫描探测显微镜的必要附件，可显示出清晰的原子量级分辨率的图像，可替代进口产品。...
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